自動300mm晶圓搬送機
AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。 **且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和**。 |
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堅固、可靠和**傳送
? 延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性和**性,能夠**可靠的傳送300 mm晶圓。
? 薄片,Warped晶圓皆能**搬送。
? 宏觀觀察位置的*優(yōu)化和操作單元的集中排列,提高了設備的操作舒適性。